[发明专利]在透明电介质材料内部制备波导光栅的方法

摘要

本发明提供一种在透明电介质材料内部制备波导光栅的方法，属于精密微光电子学器件制备技术领域和光学信息处理领域。该方法采用钛蓝宝石飞秒激光器等脉冲激光系统，通过相应的透镜将激光束聚焦到透明的电介质材料样品体内，根据波导光栅的根据对于器件性能的要求比如反射波长、反射率、透射率的需要设计波导光栅的结构和尺寸，通过控制激光束焦点在透明的电介质材料样品体内移动的方向、次数和速度，让透明的电介质材料样品被激光焦点照射发生周期性地折射率改变，形成波导光栅。利用本发明只要控制激光脉冲能量、脉宽、聚焦物镜数值孔径、样品移动速度、重复扫描次数等参数，即可实现快速高精度制备波导光栅及其相关器件。

主权项

1、一种在透明电介质材料内部制备波导光栅的方法，其步骤包括：采用钛蓝宝石飞秒激光器等脉冲激光系统，通过相应的透镜将激光束聚焦到透明的电介质材料样品体内，透镜选择0.3＜NA＜1.5；根据波导光栅的结构和尺寸需求，控制激光束焦点在透明的电介质材料样品体内移动的方向、次数和速度，让透明的电介质材料样品被激光焦点照射的地方按照所设计的结构发生相应的折射率改变，形成波导光栅。