[发明专利]一种谐振式微机械加速度计无效
| 申请号： | 200610011956.7 | 申请日： | 2006-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN1844931A | 公开（公告）日： | 2006-10-11 |
| 发明（设计）人： | 樊尚春;任杰 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘秀娟;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种谐振式微机械加速度计，包括基片、质量块、悬臂梁、杠杆放大机构、音叉、驱动电极、检测电极、齿枢和止挡。结构为轴对称图形，质量块呈“回”字型，质量块中间是杠杆放大机构、音叉、齿枢、悬臂梁和驱动电极、检测电极，质量块外围是止挡。发明中的“回”字型质量块设计能够使元件在有限体积下实现较大的质量块；谐振梁采用双端固定音叉的形式，并且两端通过细颈结构与外围连接，有效减小谐振梁和外围结构的能量耦合；以对称布置的两个音叉实现谐振频率的差动输出。本发明的结构形式提高了加速度计的灵敏度、分辨率，易于实现高精度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 式微 机械 加速度计 | ||
【主权项】：
1、一种谐振式微机械加速度计，其特征在于：包括基片、质量块、悬臂梁、两个对称的杠杆放大机构、两个对称的音叉、驱动电极、检测电极，质量块处于结构的四周，呈“回”字型，质量块的中间为悬臂梁，悬臂梁的两端与质量块固连，悬臂梁的中间通过锚点与基片固连；以轴对称布置有两个谐振梁，每个谐振梁采用双端固定音叉的形式，音叉的两端通过细颈结构分别与锚点和杠杆机构固连，在每个音叉的两侧有齿枢，齿枢两侧的梳齿构成驱动电极和检测电极。
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