[发明专利]一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法

摘要

一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法，属于电镜样品制备技术领域。制备步骤为：制备片状的NaCl晶体片，用匀胶机在NaCl晶体基片上制备样品薄膜，把得到的NaCl晶体片固定在匀胶机的托盘上，用甩胶的方法将Sol－Gel法配置的前驱体溶液均匀的涂在NaCl晶体片上，制得厚度在5～200nm的样品薄膜；在热处理炉中进行退火处理；将得到的薄膜试样放在铜栅上至蒸馏水中浸泡，保证NaCl晶体完全溶解后使薄膜吸附在铜栅上，得到透射电镜观察用样品，适用于溶胶凝胶法制备的厚度在5～200nm之间的各种薄膜。优点在于；解决了透射电镜用薄膜样品易受污染、破碎和引入假象的问题。适合制备溶胶－凝胶法制备的各种薄膜样品的透射电镜试样，成本低，应用非常广泛。

主权项

1、一种薄膜材料的透射电镜样品的制备方法，其特征在于：a、制备片状的NaCl晶体片：将NaCl粉末放入小瓷舟后至高温炉中，升温到900～1200℃，保温5～300min后随炉冷却，得到块体NaCl晶体；然后把块体NaCl晶体切成厚度为0.2～5mm、面积为20～50mm2的薄片；b、用匀胶机在NaCl晶体基片上制备样品薄膜，把步骤a得到的NaCl晶体片固定在匀胶机的托盘上，用甩胶的方法将Sol-Gel法配置的前驱体溶液均匀的涂在NaCl晶体片上，制得厚度在5～200nm的样品薄膜；c、在热处理炉中按制备薄膜样品的热处理工艺进行退火处理，退火温度200～600℃，保温时间5～300min；d、将得到的薄膜样品放在铜栅上至蒸馏水中浸泡，保证NaCl晶体完全溶解后使薄膜吸附在铜栅上，得到透射电镜观察用样品，适用于溶胶凝胶法制备的厚度在5～200nm之间的各种薄膜。