[发明专利]用于键合的清洗和干燥装置无效

专利信息
申请号: 200610012043.7 申请日: 2006-05-31
公开(公告)号: CN101083221A 公开(公告)日: 2007-12-05
发明(设计)人: 何国荣;石岩;杨国华;郑婉华;陈良惠 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 汤保平
地址: 100083北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种用于键合的清洗和干燥装置,包括:一圆形底座,其下部为一圆盘,圆盘上有一凸柱,整体截面的形状为倒T形;一装样容器,包括上下两部分,下部为中空的圆柱体,其中间空出部分为圆柱形可套在底座的凸柱上;上部为方形体,其中间为带有二级台阶的中空部;在其相对的两侧壁上开有两个孔;该装样容器外壁的中间凸出有一圆形凸边;两根两端带螺纹的螺杆,下端接于底座,上端穿过一根横梁,用螺帽接于螺杆的上端;两个插片,插在方形体的侧壁上开的孔内;一卡带为一环形体,其侧壁上打有多数的小孔;当插片插入装样容器上的孔时,卡带套置在插片处,以固定插片。
搜索关键词: 用于 清洗 干燥 装置
【主权项】:
1、一种用于键合的清洗和干燥装置,其特征在于,包括以下几个部分:一圆形底座,该圆形底座的下部为一圆盘,圆盘的上面中间有一凸柱,整体截面的形状为倒T形;一装样容器,包括上下两部分,下部为中空的圆柱体,其中间空出部分为圆柱形可套在底座的凸拄上;上部为方形体,该方形体的中间为带有二级台阶的中空部;在方形体相对的两侧壁上开有两个孔;该装样容器外壁的中间凸出有一圆形凸边;两根两端带螺纹的螺杆,下端接于底座,上端穿过一根横梁,用螺帽接于螺杆的上端;两个插片,可插在装样容器上部方形体的侧壁上开的孔内;一卡带,该卡带为一环形体,该卡带的侧壁上打有多数的小孔;当插片插入装样容器上的孔时,卡带套置在装样容器的上部方形体上的插片处,以固定插片。
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