[发明专利]一种用于强电场测量的电极天线一体化光电集成传感器无效
| 申请号： | 200610012160.3 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1862264A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 曾嵘;何金良;陈未远;梁文烈 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12;G01R19/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所 | 代理人： | 罗文群 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于强电场测量的电极天线一体化光电集成传感器，属于高电压测量技术领域。采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，互相平行的两段光波导上设置三个顶部带有凸起的门字形电极天线，三个门字形电极天线互相平行横跨在互相平行的两段光波导上。本发明的光电集成传感器，可测量强电场信号的幅值、频率、相位等信息；光电集成传感器中金属元件尺寸较小，对被测电场的影响很小，位置分辨能力强。传感器中采用光波导进行信号传输，无需使用电源，因此适合高电压区域的测量；响应速度快、灵敏度高，因此大大提高了测量频率范围和响应速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电场 测量 电极 天线 一体化 光电 集成 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种用于强电场测量的电极天线一体化光电集成传感器，其特征在于采用具有电光效应的晶片，在晶片表面用钛金属扩散法或质子交换方法形成两端Y形分叉、中间互相平行的光波导，互相平行的两段光波导上设置三个顶部带有凸起的门字形电极天线，三个门字形电极天线互相平行横跨在互相平行的两段光波导上。
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