[发明专利]一种发黄光的有机电致发光二极管及制备方法无效
申请号: | 200610012452.7 | 申请日: | 2006-02-24 |
公开(公告)号: | CN1832227A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 许并社;马晨;王华;高志翔;周禾丰;郝玉英;刘旭光 | 申请(专利权)人: | 太原理工大学 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人: | 江淑兰 |
地址: | 030024山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明涉及一种发黄光的有机电致发光二极管及制备方法,它是以8-羟基喹啉铝、酞菁铜、氟化锂、铝为原料、以罗丹明B为荧光染料掺杂剂,以氧化铟锡导电玻璃为发光器件的基底,以无水乙醇、甲苯、丙酮为清洗剂,以稀盐酸为刻蚀剂,采用9层量子阱结构,通过刻蚀氧化铟锡导电玻璃、清洗剂超声清洗、真空干燥、精选化学物质原料,采用合理的配比、真空蒸镀、冷却、检测分析,最终制得发黄光的有机电致发光二极管器件,黄光二极管9层量子阱结构中势垒与势阱层厚度均为3nm±0.5nm,各层电压均匀一致,可储存光能,并以辐射形式释放出光,器件本身不发热,延缓了老化,提高了器件的使用寿命,本发明制备工艺流程短,使用设备少,器件发光效率高,黄光色纯度好,色坐标为X=0.4457,Y=0.5054,导电性能好,安全、稳定、可靠,易于和其他发光器件匹配,使用领域广,是十分理想的发黄光的有机电致发光二极管及制备方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 发黄 有机 电致发光 二极管 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种发黄光的有机电致发光二极管及制备方法,其特征在于:本发明使 用的化学物质材料为8-羟基喹啉铝、酞菁铜、铝、罗丹明B、氟化锂、无水乙 醇、甲苯、丙酮、导电玻璃、掩膜模板,其组合配比是:以克、毫升为计量单位 8-羟基喹啉铝:Alq36g±0.1g 酞菁铜:CuPc1g±0.1g 铝:Al5g±0.1g 氟化锂:LiF0.1g±0.01g 罗丹明B:C6H4COOHC28H31ClN2O30.12g±0.03g 无水乙醇:CH3CH2OH100ml±5ml 甲苯:C7H8100ml±5ml 丙酮:CH3COCH3100ml±5ml 稀盐酸:HCl50ml±5ml 导电玻璃:氧化铟锡ITO40×20×2mm 掩膜模板:塑胶柔性材料40×20×0.5mm 透明胶带:透明40×2×0.08mm 本发明的制备方法如下: (1)精选化学物质 对制备所需的化学物质材料细粉要进行精选,并进行纯度、细度、精度控制: 8-羟基喹啉铝:99.995% 酞菁铜:99.95% 铝:99.9% 氟化锂:99.95% 罗丹明B:99.95% 无水乙醇:99.7% 甲苯:99.5% 丙酮:99.5% 稀盐酸:浓度20% 导电玻璃:氧化铟锡ITO方阻10Ω/□-60Ω/□透射率80%-88% 无色透明 掩膜模板:40×20×0.5mm 透明胶带:40×2×0.08mm 原料细度≥300目 (2)刻蚀导电玻璃 测试导电玻璃正面、反面导电特性,确定导电面为正面; 在导电面上部以中心线为基准,在导电面上对称粘贴两条透明胶带,透明胶 带为40×2×0.02mm; 将粘贴透明胶带的导电玻璃置于烧杯中,然后加入稀盐酸50ml±5ml,进行 腐蚀并刻制,时间为2min±0.2min; 将刻蚀后的导电玻璃,用白色软质纤维材料反复擦拭正面和反面,使其洁净; 揭去导电面上部的透明胶带,以备清洗。 (3)制作掩膜模板模孔 在掩膜模板40×20×0.5mm上对称切割制作4个等间距矩形通孔形模孔6 ×2×0.5mm (4)清洗导电玻璃 将刻蚀后的导电玻璃置于烧杯中,将盛有导电玻璃的烧杯置于超声波清洗器 中,分别依次在烧杯中放入无水乙醇、甲苯、丙酮,进行超声清洗,顺序为: 无水乙醇:50ml±5ml清洗时间:15min±1min 甲苯:50ml±5ml清洗时间:15min±1min 丙酮:50ml±5ml清洗时间:15min±1min (5)清洗掩膜模板 将掩膜模板置于烧杯中,将盛有掩膜模板的烧杯置于超声波清洗器中,在烧 杯中放入无水乙醇、甲苯、丙酮,进行超声清洗,顺序为: 无水乙醇:50ml±5ml清洗时间:10min±1min 甲苯:50ml±5ml清洗时间:10min±1min 丙酮:50ml±5ml清洗时间:10min±1min (6)真空干燥处理 将清洗后的导电玻璃置于真空干燥箱中进行干燥处理,干燥温度为30℃±2 ℃,时间为5min±0.2min (7)染料掺杂混合 将罗丹明B0.12g±0.03g掺杂于8-羟基喹啉铝3g±0.1g中,混合并搅拌 均匀,置于储存容器内待用。 (8)置放蒸镀材料 将酞菁铜1g±0.1g、8-羟基喹啉铝3g±0.1g、8-羟基喹啉铝:罗丹明B 3.12g±0.4g、氟化锂0.1g±0.01g、铝5g±0.1g依顺序放置在真空蒸镀箱中 的蒸发源坩埚里。 (9)置放导电玻璃、掩膜模板 将刻蚀干燥后的导电玻璃置放在掩膜模板底部,掩膜模板为40×20×0.5 mm,在掩膜模板上等间距并排设有矩形掩膜孔6×2×0.5mm,将掩膜模板、导 电玻璃一起用透明胶带粘贴固定在真空蒸镀箱内的星式基板台上,掩膜孔对准导 电玻璃的正面导电面。 (10)真空轰击导电玻璃、掩膜模板 将粘贴固定在星式基板台上的掩膜模板、导电玻璃置于真空蒸镀箱中,然后 开启真空泵抽真空,当压强≤5Pa时,开启蒸镀箱电流控制器,用125A电流强 度轰击导电玻璃,以提高导电玻璃的功函数,轰击时间为5min±0.2min。 (11)真空蒸镀、气相沉积、形态转化、薄膜生长、产品成型 在真空蒸镀箱中进行蒸镀成型,当压强≤0.002Pa时,开启真空蒸镀箱控制 器,真空蒸镀箱开始升温,升温速度为3℃/min,升温时间为10min±0.5min, 温度升至50℃±2℃,烘烤温度为50℃±2℃,烘烤蒸镀时间为120min±10min; 化学物质原料固态粉末在真空加热状态下,由固态转化为液态,由液态转化为气 态分子,然后在导电玻璃导电面上的掩膜模孔内气相沉积、生长薄膜、转化为固 态膜层、产品成型; 第1步:开启星式基板台使其转动,转数为20r/min;按黄光二极管9层 结构,逐层蒸镀,蒸发源坩埚内的化学物质粉末按气态转化温度不同,分别进 行电极接通,分别逐一逐层进行气态转化; 第2步:在导电玻璃层1上,蒸镀第2层,即酞菁铜空穴缓冲层,镀层厚 度为6nm±0.5nm; 第3步:蒸镀第3层,即量子阱结构中势垒层,8-羟基喹啉铝层,镀层 厚度为3nm±0.5nm; 第4步:蒸镀第4层,即量子阱结构中势阱层,8-羟基喹啉铝与罗丹明B 层,镀层厚度为3nm±0.5nm; 第5步:蒸镀第5层,即量子阱结构中势垒层,8-羟基喹啉铝层,镀层厚 度为3nm±0.5nm; 第6步:蒸镀第6层,即量子阱结构中势阱层,8-羟基喹啉铝与罗丹明 B层,镀层厚度为3nm±0.5nm; 第7步:蒸镀第7层,即电子传输层,8-羟基喹啉铝层,镀层厚度为30nm ±1nm; 第8步:蒸镀第8层,即电子注入层,氟化锂层,镀层厚度为1nm±0.2nm; 第9步:蒸镀第9层,即低功函数金属阴极层,铝层,镀层厚度为30nm± 1nm。 (12)冷却 真空蒸镀完成后,关闭真空蒸镀箱,停止加热烘烤,黄光二极管随箱冷却, 冷却时间为10min±0.5min,冷却速度为3℃/min,至常温20℃±3℃,然后打 开真空蒸镀箱,取出导电玻璃及掩膜模板。 (13)脱模、切割成型 将导电玻璃上的掩膜模板去除,用专用切割工具将导电玻璃以中心线为基准 切割成4个大小一致的器件,即为4个黄光二极管产品。 (14)检测分析 对黄光二极管的发光亮度、黄光色纯度进行检测、分析; 用描点式亮度计对该器件进行发光亮度测试; 用光谱辐射分析仪对该器件黄光色纯度进行检测。 (15)封装储存 用环氧树脂将黄光二极管整体封装,以防止阴极氧化,储存在干燥、通风、 避光处。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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