[发明专利]微电子机械系统共振器及其制作方法

摘要

一种无线通信领域的微电子机械系统共振器及其制作方法，共振器由衬底、共振结构、用于固定共振结构的锚定装置、电容型输出和输入电极组成。共振结构用锚定装置固定在衬底上，输入电极与共振结构用可变平行板电容器连接，输出电极与共振结构用可变平行板电容器相连接。衬底及共振结构分别用硅、锗、碳化物、压电陶瓷其中之一种材料制成；所述的共振器可与微电子芯片、双极性晶体管、金属氧化物半导体器件、互补金属氧化物半导体器件、场效应晶体管、结型场效应管器、绝缘珊场效应管其中之一进行集成。本发明具有体积小、能耗低、品质因数高、易于集成、噪声小、温度漂移小、稳定性高、成本低、产量大、易于产业化生产的优点。

主权项

1、一种微电子机械系统共振器，它由衬底、进行机械振动的共振结构、用于固定共振结构的锚定装置、电容型输出和输入电极四个部分组成，其特征在于，进行机械振动的共振结构用锚定装置固定在衬底上，输入电极与共振结构用可变平行板电容器连接，输出电极与共振结构用可变平行板电容器相连接。