[发明专利]用光学线性元件一次成形制造圆光栅的方法及装置无效
| 申请号： | 200610013550.2 | 申请日： | 2006-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN1837963A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 李秋祯;张淑良 | 申请（专利权）人： | 天津师范大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G11B7/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300074天津市卫津路*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用光学线性元件一次成形制造圆光栅的方法及装置，解决了栅线质量不理想，直线性差，所用设备较多，成本较高，且制造工序多、复杂、周期长等问题。技术方案是：利用透明光学材料制成线性元件，由激光通过该光学线性元件照射涂有感光材料的载体，一次成形整圈的圆光栅线，经物化、干燥处理得到一次成形的圆光栅。装置由激光器、曝光时间控制器、扩束镜、准直镜、利用透明光学材料制成的光学线性元件、载体架构成，且依次安装在底座上。本发明的光路调整方便，光路调好后可长期使用，大大简化了制造圆光栅的工序，时间大为缩短，省时省工，提高了工效和可靠性，大大降低了圆光栅的制造成本，且栅线整齐、直线性好，精确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 用光 线性 元件 一次 成形 制造 圆光 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用光学线性元件一次成形制造圆光栅的方法，其特征是利用透明光学材料制成线性元件，由激光通过该线性光学元件照射在涂有感光材料的载体上，一次成形整圈的圆光栅线，经物化、干燥处理得到一次成形的圆光栅。
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