[发明专利]用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液无效
| 申请号： | 200610014296.8 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN1865374A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 刘玉岭;王胜利 | 申请（专利权）人： | 河北工业大学 |
| 主分类号： | C09G1/14 | 分类号： | C09G1/14 |
| 代理公司： | 天津市三利专利商标代理有限公司 | 代理人： | 闫俊芬 |
| 地址： | 30013*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学作用强，易于清洗，有效解决了划伤问题，抛光速率高，流动性好的用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液。本发明抛光液的成分和重量％如下：纳米SiO2溶胶10－90、无机碱和有机碱0.5－10、非离子表面活性剂0.5－10、螯合剂0.5－10、去离子水为余量。本发明是应用于磷酸氧钛钾晶体化学机械抛光，能够有效避免表面划伤，提高表面平整度，并且容易清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磷酸 氧钛钾 晶体 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种用于磷酸氧钛钾晶体的化学机械抛光液，其特征是，所述抛光液的成分和重量％如下：纳米SiO2溶胶 10-90；无机碱和有机碱 0.5-10；非离子表面活性剂 0.5-10；螯合剂 0.5-10；去离子水 余量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于河北工业大学，未经河北工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610014296.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
