[发明专利]超声喷雾热分解喷头

摘要

本发明涉及一种超声喷雾热分解喷头，特别是一种导雾管上半部分加有储液瓶、喷嘴直径由大到小有一个渐变的过程的超声喷雾热分解喷头，可以广泛地应用于薄膜材料、特别是透明导电氧化物薄膜的制备方面。现有技术存在衬底炸裂、喷嘴堵塞导致根本无法成膜的缺陷；为此，本发明提出了一种超声喷雾热分解喷头新的技术方案：其特点在于：喷嘴上增加了一个储液瓶，储液瓶包含有进气导管和排液导管，进气导管与水平面的夹角θ为10－350°，排液管口设置一个阀门。本发明的有益效果是：通过储液瓶和调节进气口的倾斜角度使得大半径雾滴和液态物质不再影响成膜，通过改变喷嘴形状可有效的获得大面积、均匀的薄膜。

主权项

1.一种超声喷雾热分解喷头，它包括一个喷嘴和储液瓶，其特征在于：喷嘴(5)上增加了一个储液瓶(1)，储液瓶包含有进气导管(2)和排液导管(3)，进气导管与水平面的夹角θ为10-350°，排液管口设置一个阀门(4)。