[发明专利]微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法有效
| 申请号： | 200610015496.5 | 申请日： | 2006-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN1912540A | 公开（公告）日： | 2007-02-14 |
| 发明（设计）人： | 栗大超;黄玉波;傅星;胡小唐 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01B11/24;G01N13/10 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人： | 江镇华 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法，是由如下过程完成的：1.采集被测物表面干涉图，得到被测物表面初始轮廓图；2.确定被测物的基准平面；3.进行坐标系旋转，使新坐标系的XOY平面与基准平面平行，重构被测物表面3D轮廓。确定被测物的基准平面，是使用最小二乘法确定调平表面轮廓的基准平面，包括有最小二乘中线法和面内最小二乘法。本发明计算量小，使用简单，处理效率高；最大限度地避免了轮廓的变形；不仅可用于相移显微干涉系统的测量应用中，也可以用于其他测量MEMS/NEMS表面3D轮廓的技术的图像处理中；可以根据不同应用的需求，选择不同的面作为基准，得到不同视角的表面三维轮廓信息，运用灵活。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 轮廓 测量 基于 坐标 变换 倾斜 误差 补偿 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微纳结构3D轮廓测量中基于坐标变换的倾斜误差补偿方法，其特征在于，是包括以下步骤：1.采集被测物微纳结构表面的干涉图，计算被测微纳结构表面的初始轮廓图；2.确定被测物的基准平面；3.进行坐标系旋转，使新坐标系的XOY平面与基准平面平行，重构被测微纳结构的表面3D轮廓。
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