[发明专利]采用热靶技术对大型光电测控设备三轴平行性检测的装置无效
申请号: | 200610016518.X | 申请日: | 2006-01-12 |
公开(公告)号: | CN101000235A | 公开(公告)日: | 2007-07-18 |
发明(设计)人: | 沈湘衡;苏启顺;叶露;刘德尚;张菠;聂真威 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/27 | 分类号: | G01B11/27;G01M11/00 |
代理公司: | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人: | 刘树清 |
地址: | 130031吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 采用热靶技术对大型光电测控设备三轴平行性检测的装置,属于光学仪器检验技术领域中涉及的对大型光电检测设备三轴平行性检验的装置。要解决的技术问题是:提供用热靶技术对大型光电测控设备三轴平行性进行检测的装置。技术方案包括光源、热靶滑座、热靶、准直光路、半反半透镜、减光片、三个平面反射镜及镜座;热靶位于准直光路系统焦面上,中心有星点孔,装在滑座上,能左右移动,准直光路的光轴上依次装有减光片、半反半透镜、第一反射镜、第二平面反射镜、带有中心孔的平面反射镜,除减光片外,其余反射镜均与准直光路系统光轴成45°角安装,且镜面之间相互平行。本发明可以用于三个或三个以上多光轴光学系统平行性的检验。 | ||
搜索关键词: | 采用 技术 大型 光电 测控 设备 平行 检测 装置 | ||
【主权项】:
1、用热靶技术对大型光电测控设备三轴平行性检测的装置,包括光源,其特征在于还包括热靶滑座(14)、热靶(15)、抛物镜(16)、双曲面镜(17)、半反半透镜(18)、镜座(19)、减光片(20)、第一平面反射镜(22)、带中孔的平面反射镜(23)、第二平面反射镜(25)、镜座(27),还利用外部的被检仪器的激光系统(21)、红外光学系统(24)、可见光学系统(26);抛物镜(16)、双曲面镜(17)构成准直光路系统,热靶(15)位于准直光路系统的焦面上;其中热靶(15)上带有中心星孔,热靶(15)装在热靶滑座(14)上,热靶(15)随热靶滑座(14)左右移动,移动的距离大于准直光路系统的线视场;准直光路的光轴与被检仪器的激光系统(21)的光轴重合,在准直光路的光轴上,位于被检仪器激光系统(21)和准直光路系统之间,在镜座(19)上依次装有减光片(20)和半反半透镜(18),半反半透镜(18)与准直光路系统光轴成45°角安装,在镜座(19)的另一端装有第一反射镜(22),半反半透镜(18)的反射面与第一反射镜(22)的反射面相对且平行;在第一反射镜(22)反射光的光轴上,在镜座(27)的一端安装带有中孔的平面反射镜(23),使带有中孔的平面反射镜(23)的反射面与第一反射镜(22)的反射面平行,第一反射镜(22)反射光线光轴穿过带有中孔的平面反射镜(23)的中心孔,并与被检仪器红外光学系统(24)的光轴重合;在镜座(27)的另一端安装第二平面反射镜(25),使第二平面反射镜(25)与带有中心孔的平面反射镜(23)的反射面相对且平行,第二平面反射镜(25)的反射光线的光轴与被检仪器可见光学系统光轴重合。
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