[发明专利]可调谐等离子体谐振腔有效
| 申请号： | 200610018568.1 | 申请日： | 2006-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN1835279A | 公开（公告）日： | 2006-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李震宇;孙建华;方东权 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆有限公司 |
| 主分类号： | H01P7/06 | 分类号： | H01P7/06 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 胡建平 |
| 地址： | 430073湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的可调谐等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，其不同之处在于在圆柱型谐振腔壳体的一端安设调谐销钉，调谐销钉的前端伸入圆柱型谐振腔腔体，且伸入深度可调。本发明通过在谐振腔设置调谐销钉，可随时调节销钉的插入深度来达到调谐的效果，能使波导装置很好地与谐振腔负载匹配，以适应加工过程中谐振腔等效负载的不断变化，实现能量耦合的实时控制；同时有助于提高PCVD工艺的加工精度和效率，避免微波对系统器件的损坏，提高等离子体谐振腔微波系统的有效使用寿命；本发明还具有结构简单，性能稳定，便于加工和制作的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 调谐 等离子体 谐振腔 | ||
【主权项】：
1、一种可调谐等离子体谐振腔，包括有圆柱型谐振腔壳体，在圆柱型谐振腔壳体的两端设置截止波导，其特征在于在圆柱型谐振腔壳体的一端安设调谐销钉，调谐销钉的前端伸入圆柱型谐振腔腔体，且伸入深度可调。
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