[发明专利]一种激光干涉测量装置无效
| 申请号： | 200610018871.1 | 申请日： | 2006-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN1837756A | 公开（公告）日： | 2006-09-27 |
| 发明（设计）人： | 杨勇;宋俊磊;汤型正;罗中杰 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（武汉） |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G01B9/02 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种干涉法测量目标的装置。一种激光干涉测量装置，它包括激光器、半反镜(2)、光程调整装置、光电探测器(7)、频移分析系统(8)和计算机，其特征在于：光程调整装置包括第一反光镜(12)、第二反光镜(13)、第三反光镜(14)、旋转台(15)，第一反光镜(12)与第二反光镜(13)的反光面相对，第一反光镜(12)的反光面一端位于参考光路(3)的入射线上，第三反光镜(14)的反光面一端位于反射光线(19)的CB段上，第三反光镜(14)的反光面与反射光线(19)的CB段垂直；第一反光镜架、第二反光镜架、第三反光镜架分别与旋转台(15)固定连接。本发明具有结构简单、测量距离远的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光干涉测量装置，它包括激光器、半反镜(2)、光程调整装置、光电探测器(7)、频移分析系统(8)和计算机，半反镜(2)与激光器的光源光路(1)成45度夹角，参考光路(3)与光源光路(1)相互垂直并位于半反镜(2)的同一侧，光程调整装置的反光镜位于参考光路(3)的入射线上，测量光路(5)与光源光路(1)相互垂直并位于半反镜(2)的两侧，光电探测器(7)位于测量光路(5)的入射线上，光电探测器(7)由信号线与频移分析系统(8)的输入端相连，频移分析系统(8)的输出端由信号线经I/O接口与计算机相连；其特征在于：光程调整装置包括第一反光镜(12)、第二反光镜(13)、第三反光镜(14)、旋转台(15)，第一反光镜(12)与第二反光镜(13)的反光面相对，第一反光镜(12)的反光面一端位于参考光路(3)的入射线上，参考光路(3)的入射线与第一反光镜(12)的反光面的法线成α角，0°＜α＜90°；第三反光镜(14)的反光面一端位于经第一反光镜(12)和第二反光镜(13)反射后的反射光线(19)的CB段上，第三反光镜(14)的反光面与反射光线(19)的CB段垂直；第一反光镜(12)至少由1个第一精密调节螺钉(16)与第一反光镜架固定连接，第二反光镜(13)至少由1个第二精密调节螺钉(18)与第二反光镜架固定连接，第三反光镜(14)至少由1个第三精密调节螺钉(17)与第三反光镜架固定连接，第一反光镜架、第二反光镜架、第三反光镜架分别与旋转台(15)固定连接。
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