[发明专利]一种可燃气体传感器的制备方法无效
| 申请号： | 200610019380.9 | 申请日： | 2006-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN1865963A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 林志东;曾文 | 申请（专利权）人： | 武汉工程大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;G01N27/407 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 | 代理人： | 唐万荣 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种气体传感器。一种可燃气体传感器的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)以叉指型微电极阵列电极基片为基底制备纳米半导体TiO2薄膜，得到半导体气敏元件；2)在半导体气敏元件的纳米半导体TiO2薄膜上方设置紫外灯，紫外灯(1)、半导体气敏元件(2)固定在传感器壳体(3)内，传感器壳体(3)上设有通气孔(4)，得可燃气体传感器。本发明可提高传感器的灵敏度、降低传感器工作温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可燃 气体 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可燃气体传感器的制备方法，其特征在于它包括如下步骤：1)以叉指型微电极阵列电极基片为基底制备纳米半导体TiO2薄膜，得到半导体气敏元件；2)在半导体气敏元件的纳米半导体TiO2薄膜上方设置紫外灯，将紫外灯(1)、半导体气敏元件(2)固定在设有通气孔(4)的传感器壳体(3)内，得可燃气体传感器。
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