[发明专利]一种电子浆料雾化沉积直写装置有效
| 申请号： | 200610019527.4 | 申请日： | 2006-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN1876244A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 曾晓雁;李祥友;李敬;李金洪;王小宝 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;B05B13/02;H05K3/10;H01L49/02 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电子浆料雾化沉积直写装置，包括沉积喷嘴、基板、由控制器控制的工作台、二流体雾化喷嘴和对接喷管；二流体雾化喷嘴由位于雾化腔内的气体喷嘴和液体喷嘴构成；气体喷嘴通过导气管与气源相连，液体喷嘴与浆料导管的一端相连，浆料导管的另一端伸入至雾化腔的下部；导引管口位于雾化腔的上部；雾化腔上设有用于测量其气压的微压表；对接喷管位于泄压回收腔内、由共中心轴线的上、下喷管组成；上喷管通过导管与导引管口相连；下喷管通过连接管与沉积喷嘴相连；泄压回收腔上设有用于改变其气压的调节阀。本发明装置浆料雾化效果好，调节范围大，运行稳定，结构简单，操作方便，实用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 浆料 雾化 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1、一种电子浆料雾化沉积直写装置，包括沉积喷嘴、基板和由控制器控制的工作台，沉积喷嘴或基板固定在工作台上；其特征在于：该装置还包括二流体雾化喷嘴和对接喷管(9)；二流体雾化喷嘴由位于雾化腔(8)内的气体喷嘴(2)和液体喷嘴(4)构成；其中，气体喷嘴(2)通过导气管(1)与气源相连，液体喷嘴(4)与浆料导管(3)的一端相连，浆料导管(3)的另一端伸入至雾化腔(8)的下部；导引管口(6)位于雾化腔(8)的上部；雾化腔(8)上设有用于测量其气压的微压表(7)；对接喷管(9)位于泄压回收腔(11)内、由共中心轴线的上、下喷管(9A、9B)组成；上喷管(9A)通过导管与导引管口(6)相连；下喷管(9B)通过连接管与沉积喷嘴(12)相连；泄压回收腔(11)上设有用于改变其气压的调节阀(10)。
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