[发明专利]一种直写电子/光电子元器件的微细笔及由其构成的装置有效
| 申请号： | 200610019740.5 | 申请日： | 2006-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN1889231A | 公开（公告）日： | 2007-01-03 |
| 发明（设计）人： | 曾晓雁;李祥友;王泽敏;李金洪;王小宝;曹宇 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00;H01L21/768;H01L21/288;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔及由其构成的装置。微细笔的结构为：减压装置位于笔帽内，并与位于笔帽顶部的施压气管相连，笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔，储料腔用于储存需要沉积的物料，笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接，并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动，构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件，还可用于制作光电子元器件，如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性，可将聚合物材料置于微细笔内，在基板上直写出光波导。本发明装置布线速度快，线宽范围大，制造和运行成本低，布线速度范围为2mm/s～15mm/s，线宽范围为0.06mm～2mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 光电子 元器件 微细 构成 装置 | ||
【主权项】：
1、一种直写电子/光电子元器件的微细笔，其特征在于：减压装置(2)位于笔帽(3)内，并与位于笔帽(3)顶部的施压气管(1)相连，笔帽(3)的下端与笔筒(6)的上端活动、密封连接构成储料腔(4)，储料腔4用于储存需要沉积的物料，笔筒(6)的下端为笔尖(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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