[发明专利]一种多晶氧化锌薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种多晶氧化锌薄膜材料的制备方法，步骤为：①清洗衬底；②将锌盐溶于去离子水中，加入配合物，锌盐与配合物的摩尔比为1∶1至1∶4，配合物为乙醇胺系列化合物；调节pH值至11～12.5之间，制成前驱体溶液：；③将衬底浸入前驱体溶液，锌的配合物离子与衬底之间达到吸附饱和后取出；④将衬底浸入室温去离子水中洗涤；⑤再将衬底浸入85－95℃去离子水中；⑥反复进行步骤③－⑤，直到厚度达到所需的尺寸；⑦对薄膜进行低温干燥和退火处理。本发明通过连续离子层吸附反应法制备氧化锌薄膜材料，形成的薄膜具有高附着力和致密性、良好的结晶性能和光电性能。本发明成功的改善了薄膜的表面性能，大幅度减少了薄膜中的针孔。

主权项

1、一种多晶氧化锌薄膜材料的制备方法，其步骤包括：(1)清洗衬底；(2)制备锌的配合物前驱体溶液：将锌盐溶于去离子水中，加入配合物，锌盐与配合物的摩尔比为1∶1至1∶4，锌盐为二水醋酸锌、七水硫酸锌或氯化锌，配合物为乙醇胺系列化合物；然后加入碱溶液调节pH值至11～12.5之间；(3)将清洗后的衬底浸入锌的配合物前驱体溶液，锌的配合物离子与衬底之间达到吸附饱和后取出；(4)将取出后的衬底浸入室温去离子水中洗涤；(5)再将室温去离子水洗涤后的衬底浸入85-95℃去离子水中，使氢氧化锌转变为氧化锌；(6)反复进行步骤(3)-(5)，直到薄膜的厚度达到所需的尺寸；(7)对薄膜进行低温干燥，然后将其置于退火炉中，400-550℃空气或氮气气氛下处理1-10小时。