[发明专利]一种可反应性树脂及其光成像组合物无效
申请号: | 200610020314.3 | 申请日: | 2006-02-20 |
公开(公告)号: | CN101024683A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 王跃川;巫文强 | 申请(专利权)人: | 四川大学 |
主分类号: | C08G63/91 | 分类号: | C08G63/91;G03F7/004 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 610065四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种可反应性树脂及其光成像组合物,可反应性树脂由环氧树脂改性超支化聚酯制备,光成像组合物包含该可反应性树脂、单官能和多官能(甲基)丙烯酸酯、光引发剂以及助剂,光成像组合物光固化后对玻璃、硅晶片、金属基材有优异的附着力,特别适合用光成像、强酸刻蚀方法在这些基材上加工制作微细结构,如微器件、微光学元件等。本发明还公布了与光成像组合物配合使用,对玻璃,硅晶片、金属基材等进行深度刻蚀的化学刻蚀剂。 | ||
搜索关键词: | 一种 反应 树脂 及其 成像 组合 | ||
【主权项】:
1.一种可反应性树脂,含有羧基和羟基官能团,羧基浓度0.2~2.0mmol/g,相对于聚苯乙烯标样的重均分子量(GPC法)在700~8000g/mol,含有20%~50%的有机溶剂。
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