[发明专利]一种用于制备氧化锌薄膜的有机锌源及其制备方法

摘要

一种用于制备氧化锌薄膜的有机锌源及其制备方法，属于化学材料合成技术领域。所述有机锌源的主要成分为一种分子式为Zn₄(OH) ₂(O₂CCH₃)₆·2H₂O的有机醋酸锌类化合物，其中可以含有少量的ZnO其中Zn₄ (OH)₂(O₂CCH₃)₆·2H₂O包含一个四面体的Zn₄O基团，且中心氧原子有氢键形成，4个锌原子和一个水分子中的氧原子配位且同时分别与三个乙酸根中的其中一个氧原子键合，宏观上形成笼状化合物；热分解时产物为ZnO、CH₄和CO₂。所述有机锌源的制备方法，是以氧化锌和冰乙酸作为反应物，以无水乙醇为溶剂，蒸馏回流反应生成。本发明所述有机锌源无毒，制备成本低，分解时无毒物产生且分解温度低；完全适合SSCVD技术制备氧化锌薄膜的所有要求，尤其适用于SSCVD技术制备氧化锌薄膜。所述有机锌源的制备方法所需反应物价格便宜、制备过程简单易控。

主权项

1、一种用于制备氧化锌薄膜的有机锌源，其特征在于，该有机锌源为粉末状固体混合物，可以含有少量的ZnO，其主要成分为一种分子式为Zn4(OH)2(O2CCH3)6·2H2O的有机醋酸锌类化合物。