[发明专利]电子束扫描均匀性测量系统

摘要

本发明提供了一种电子束扫描均匀性测量系统。本发明的测量系统包括数据采集装置、微机系统及数据处理软件。在加速器扫描引出窗下方安装数据采集装置，对扫描均匀性进行测量，数据采集器对数据采集装置接收到的数据信号进行采集分析。本发明采用水冷或风冷形式的大面积引出窗，能精确地对扫描轨迹进行分析测量。本发明的电子束扫描均匀性测量系统可进行在线测量，并能够对扫描引出系统的工作状态进行实时分析和优化，扫描均匀性好，测量的精度高。

主权项

1.一种电子束扫描均匀性测量系统，其特征在于：包括数据采集装置、微机系统及数据处理软件；用于将电子束扫描轨迹的坐标数据进行采集的数据采集装置；数据采集装置与微机系统连接；用于将数据采集装置采集到的电子束扫描轨迹坐标数据进行处理并得到测量结果的微机系统及数据处理软件，数据处理软件安装在微机系统中；所述的数据采集装置含有金属格栅(1)、测量板(2)、数据采集器；金属格栅(1)由框架和格栅齿(5)组成；其连接关系是，数个格栅齿按一定间距设置在金属格栅(1)的框架上；测量板(2)为一平板，测量板(2)上设置有对应金属格栅(1)的螺孔，金属格栅(1)通过穿过连接螺孔的螺钉与测量板(2)连接，金属格栅(1)与测量板(2)之间设置有绝缘垫片(3)；测量板(2)的测量引出信号线(4)与数据采集器连接；数据采集器安装在微机的插槽中。