[发明专利]消除拼接光栅错位误差的调整装置

摘要

本发明提供了一种用于消除拼接光栅错位误差的调整装置。本发明的调整装置包括激光远场监测部分和光栅位置调整部分，监测光经分光镜后分为透射和反射两束光，其中透射光经过三次平面反射镜反射后垂直入射到拼接光栅上，再原路返回到分光镜，然后经过透镜聚焦，由显微物镜放大，成象在ccd上；经分光镜后的反射光经两次平面反射镜反射，再经过小孔板，然后由透镜进行聚焦，最后由显微物镜放大，并成象在另一ccd上。本发明根据探测光的入射角度关系式改变探测光的角度，在实时监控两光栅面平行的条件下消除了拼接光栅之间的错位误差，调整装置结构简单，成本较低，可消除误差到环境噪声的精度范围。

主权项

1.一种消除拼接光栅错位误差的调整装置，其特征在于：所述的调整装置包括激光远场监测部分(1)和光栅位置调整部分(2)，通过观察探测光的远场分裂情况，调整光栅的位置，减小并消除拼接光栅之间的错位误差；激光远场监测部分(1)包括分光镜、透镜、显微物镜、ccd、平面反射镜、小孔板、光栅；监测光经分光镜后分为透射和反射两束光，其中透射光经过三次平面反射镜反射后垂直入射到拼接光栅上，再原路返回到分光镜，然后经过透镜聚焦，由显微物镜放大，成象在ccd上；经分光镜后的反射光经一平面反射镜反射后，以满足探测光的入射角度关系式要求的入射角度入射到拼接光栅上，其反射光经两次平面反射镜反射，再经过小孔板，然后由透镜进行聚焦，最后由显微物镜放大，并成象在另一ccd上；光栅位置调整部分(2)包括依次连接的微机、步进电机和光栅架。