[发明专利]利用浮动和/或偏置多晶硅区域的静电保护系统和方法有效

专利信息
申请号: 200610023162.2 申请日: 2006-01-04
公开(公告)号: CN1996593A 公开(公告)日: 2007-07-11
发明(设计)人: 苏鼎杰;郑敏祺;廖金昌;黄俊诚 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/60
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 陈红
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种用于静电放电保护的系统和方法。该系统包括多个晶体管。这多个晶体管包括多个栅极区域、多个源极区域和多个漏极区域。多个源极区域和多个漏极区域位于衬底中的有源区内部,并且有源区至少与衬底中的隔离区域相邻。另外,该系统包括多晶硅区域。多晶硅区域经由介电层与衬底相隔离,并且多晶硅区域与多个栅极区域中的每一个交叉。多晶硅区域的至少一部分在有源区上。
搜索关键词: 利用 浮动 偏置 多晶 区域 静电 保护 系统 方法
【主权项】:
1.一种用于静电放电保护的系统,所述系统包括:多个晶体管,所述多个晶体管包括多个栅极区域、多个源极区域和多个漏极区域,所述多个源极区域和所述多个漏极区域位于衬底中的有源区内部,所述有源区至少与所述衬底中的隔离区域相邻;一个多晶硅区域,所述多晶硅区域经由一个介电层与所述衬底相隔离,所述多晶硅区域与所述多个栅极区域中的每一个交叉;其中所述多晶硅区域的至少一部分在所述有源区上。
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