[发明专利]激光光束质量测量装置

摘要

一种激光光束质量测量装置，包括聚焦透镜、衰减片、采集光斑的CCD和带有高速采集卡的计算机，其特点是所述的衰减片是一漫散射板，在所述的聚焦透镜和漫散射板之间有一分光器件，该分光器件由与光路成45°平行放置在光路中的第一平板和第二平板构成，该第一平板和第二平板有一错位m，第一平板的内表面的反射率为100％，第二平板内表面的反射率的取值范围为90％～99％，第二平板的外表面镀有增透膜。本发明可以对重复率、高能激光器的光束质量进行准确的测量，它既能对高斯光束进行测量，又能对非高斯光束的光束质量用桶中功率比的方法评价，本发明还具有结构简单、实用和稳定的特点。

主权项

1、一种激光光束质量测量装置，包括聚焦透镜(1)、衰减片(5)、采集光斑的CCD(6)和带有高速采集卡(7)的计算机(8)，其特征是所述的衰减片(5)是一漫散射板，在聚焦透镜(1)和漫散射板(5)之间有一分光器件(2)，该分光器件(2)由与光路成45°平行放置在光路中的第一平板(3)和第二平板(4)构成，该第一平板(3)和第二平板(4)有一错位m，其中第一平板(3)的内表面的反射率为100％，第二平板(4)内表面的反射率的取值范围为90％～99％，第二平板(4)的外表面镀有增透膜，第一平板(3)和第二平板(4)的位置满足如下关系： d＜m＜2h×tanα L≥10×d其中：d为经该分光器件(2)后的出射光在漫散射板(5)上的两相邻光斑之间的距离，d＞被测光斑在焦斑处束腰大小的倍；m为两平板之间的错位；h为两平板之间的距离；α为被测光束对第一平板(3)的入射角；L为平板的长度。