[发明专利]基于非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜的螺线管微电感器件无效
申请号: | 200610023897.5 | 申请日: | 2006-02-16 |
公开(公告)号: | CN1812011A | 公开(公告)日: | 2006-08-02 |
发明(设计)人: | 周勇;丁文 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | H01F17/04 | 分类号: | H01F17/04;H01F27/28;H01F27/32;H01F10/13;B81B7/00 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种微电子技术领域的基于非晶FeCuNb CrSiB磁性薄膜的螺线管微电感器件,包括:衬底、引脚、线圈、磁芯材料、氧化铝绝缘材料,闭合的矩形磁芯材料上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈,线圈以衬底为基础,由底层线圈、顶层线圈通过连接导体连接形成,线圈的两端连接引脚,线圈的底层线圈、顶层线圈、连接导体均通过氧化铝绝缘材料与磁芯材料隔开。其中,所述的磁芯材料为非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜。本发明解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题,使得微电感器件的高频性能大大提高,具有广泛的用途。 | ||
搜索关键词: | 基于 fecunbcrsib 磁性 薄膜 螺线管 电感 器件 | ||
【主权项】:
1、一种基于非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜的螺线管微电感器件,包括:衬底(1)、引脚(2)、线圈(3)、磁芯材料(4)、氧化铝绝缘材料(6),其特征在于:所述的磁芯材料(4)为非晶FeCuNbCrSiB磁性薄膜,磁芯(4)为闭合的矩形,磁芯(4)上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈(3),线圈(3)以衬底(1)为基础,由底层线圈(5)、顶层线圈(8)通过连接导体(7)连接形成,线圈(3)的两端连接引脚(2),线圈(3)的底层线圈(5)、顶层线圈(8)、连接导体(7)均通过氧化铝绝缘材料(6)与磁芯(4)隔开。
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