[发明专利]一种扫描式离子枪无效
| 申请号： | 200610024805.5 | 申请日： | 2006-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN1828817A | 公开（公告）日： | 2006-09-06 |
| 发明（设计）人： | 刘阳旸 | 申请（专利权）人： | 上海市七宝中学 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J27/02;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 | 代理人： | 吴泽群 |
| 地址： | 201101上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种扫描式离子枪，包括放电室，置于放电室内的栅极组件以及围绕放电室的会聚磁场装置，其中，栅极组件由中心均有圆孔的源极、栅极和加速极绝缘构成，会聚磁场覆盖源极和栅极，其特征在于：放电室的位于加速极一侧的端口设有扫描磁场装置。该扫描式离子枪通过磁场装置使将离子束在X－Y方向上扫描的方式，实现了大面积的均匀的薄膜蚀刻。并且具有结构简单，制造成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 离子 | ||
【主权项】：
1、一种扫描式离子枪，包括放电室，置于放电室内的栅极组件以及围绕放电室的会聚磁场装置，其中，栅极组件由中心均有圆孔的源极、栅极和加速极构成，会聚磁场覆盖源极和栅极，其特征在于：放电室的位于加速极一侧的端口设有扫描磁场装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海市七宝中学，未经上海市七宝中学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610024805.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电子文档样式矩阵
- 下一篇：培氟沙星的偶联物及其制备方法与应用
