[发明专利]基于金属/纳米管复合镀的场发射显示装置阴极制备方法无效
申请号: | 200610025668.7 | 申请日: | 2006-04-13 |
公开(公告)号: | CN1832084A | 公开(公告)日: | 2006-09-13 |
发明(设计)人: | 丁桂甫;吴惠箐;王裕超 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | H01J9/02 | 分类号: | H01J9/02 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种纳米技术领域的基于金属/纳米管复合镀的场发射显示装置阴极制备方法。本发明工序包括:先对纳米管进行预处理,使其端部开口并纯化;然后通过超声分散或添加分散剂,将纳米管分散在电镀基础镀液中;再运用掩膜电镀的方法在场发射显示装置阴极的指定部位制备金属/纳米管梯度复合薄膜;接着对复合镀层的表层作轻度腐蚀,使得最外层的纳米管有一部分从金属包覆层中释放出来;最后对复合镀层进行清洗,形成表层纳米管一部分裸露、一部分根植于金属基体之中的金属/纳米管复合微结构。本发明能够制备发射效率高,发射电流大,工艺兼容性好,使用寿命长的大面积高分辨率场发射显示装置。 | ||
搜索关键词: | 基于 金属 纳米 复合 发射 显示装置 阴极 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于金属/纳米管复合镀的场发射显示装置阴极制备方法,其特征在于,具体工序包括:(1)先对纳米管进行预处理,使其端部开口并纯化;(2)然后通过超声分散或添加分散剂,将纳米管分散在电镀基础镀液中;(3)再运用掩膜电镀的方法在场发射显示装置阴极的指定部位制备金属/纳米管复合薄膜,其中,纳米管含量沿薄膜厚度方向呈梯度分布,并在表面层达到最大富集;(4)接着对复合镀层的表层作轻度腐蚀,使得最外层的纳米管有一部分从金属包覆层中释放出来;(5)最后对复合镀层进行清洗,制得金属/纳米管复合薄膜;所述的金属/纳米管复合薄膜中,金属基体是锌、银、铜、镍金属单质或合金,纳米管包括单壁碳纳米管、多壁碳纳米管、纳米碳纤维中的至少一种,复合薄膜表层富集纳米管一部分裸露、一部分根植于金属基体之中的金属/纳米管复合微结构,作为场发射显示装置阴极电子发射源使用,场发射电流主要来源于纳米管侧壁发射的电子。
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