[发明专利]抗磁性悬浮永磁转子微加速度计

摘要

一种抗磁性悬浮永磁转子微加速度计，属于微机电技术领域。本发明采用三明治结构形式，由上、下定子和盘形导电永磁转子构成，上、下定子通过其上的三对弧形铜柱形成了转子腔，转子腔的中心为坐标系OXYZ的原点、Z轴为重力方向，导电永磁转子位于这个转子空腔内，上、下定子通过其上的接线铜柱和其上的共晶铅锡焊flip－chip键合实现电气和机械连接。本发明的检测质量块(永磁转子)的稳定悬浮是基于永磁体与永磁体、永磁体与抗磁体相互作用实现的。本发明的信号获取是通过检测差分电容的变化得到，对转子的反馈力和反馈力矩控制是通过对相应电容极板施加的直流控制电压来实现。本发明可以同时检测沿X、Y、Z轴的线加速度以及绕X、Y轴角加速度。

主权项

1、一种抗磁性悬浮永磁转子微加速度计，由下定子(1)、上定子(2)、永磁转子(3)三层三明治结构组成，下定子(1)和上定子(2)通过共晶铅锡焊连接在一起，并形成空腔，永磁转子(3)放置在此空腔内，其特征在于：所述的下定子(1)包括：石墨衬底(10)，衬底(10)正面之上分布有共圆心的电容极板(11、12a、12b、13a、13b、14a、14b、14c、14d、15a、15b、15c、15d)，之外是弧形限位柱(18)，再外侧是接线柱(17b)和接线柱上的铅锡焊(17a)，最外侧是引线电极(16)，衬底(10)背面是键合对准标记(19)；所述的上定子(2)包括：石墨衬底(20)，衬底(20)正面之上分布有共圆心的电容极板(21、22a、22b、23a、23b、24a、24b、24c、24d、25a、25b、25c、25d)，之外是弧形限位柱(28)，最外侧是凹槽(27)，衬底(20)的背面有与电容极板同心的环形永磁(26)和键合对准标记(29)。