[发明专利]保持光刻机高速同步控制时序信号完整性的方法有效
| 申请号： | 200610027269.4 | 申请日： | 2006-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN1858652A | 公开（公告）日： | 2006-11-08 |
| 发明（设计）人： | 吴仁玉;郑涛;池峰;陈勇辉;韦学志 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种保持光刻机高速同步控制时序信号完整性的方法，同步总线控制器在叠层时确保高速信号的阻抗控制，此外，同步总线控制器在叠层时电源平面与地平面相邻，形成一个板级电容，同时，信号层与地平面相邻。本发明实现了对步进扫描投影光刻机曝光扫描的同步信号控制，以同步总线数据传输作为时间基准，通过同步总线的最小时间单元，严格控制各个信号的时间点，从而实现各个子模块之间信号的实时和同步。 | ||
| 搜索关键词： | 保持 光刻 高速 同步 控制 时序 信号 完整性 方法 | ||
【主权项】：
1、一种保持光刻机高速同步控制时序信号完整性的方法，其特征在于：同步总线控制器在叠层时确保高速信号的阻抗控制。
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