[发明专利]基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法有效
| 申请号： | 200610027341.3 | 申请日： | 2006-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1865923A | 公开（公告）日： | 2006-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李铁;王翊;周宏;王跃林;林心如;奚庆中 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G01N21/25 | 分类号： | G01N21/25;G01J3/18 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆位于介质薄膜上面，引线柱位于支撑框架上，热堆阵列芯片上的通光孔与盖板上的通光孔相对应；光栅芯片上的闪耀光栅是采用特定晶向腐蚀出来的，将特定波长的红外光的最大功率正好反射在热堆的热端薄膜表面。依所述结构采用MEMS工艺制作三块芯片，再采用点胶机点胶键合，或利用粘合剂光刻对准键合，或直接进行Si－Si、Si－玻璃对准键合。具有体积微小、结构稳定、重复性好、成本低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 闪耀 光栅 探测器 微型 集成 光谱仪 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪，其特征在于由盖板(1)、热堆阵列芯片(2)和光栅芯片(3)按顺序集成组合而成；其中盖板(1)包括一个两面腐蚀的通光孔(4)和下表面的浅槽(6)；热堆阵列芯片(2)的支撑框架(12)支撑整个膜结构；热堆(5)位于介质薄膜(7)上面，引线柱(11)位于支撑框架(12)上，热堆阵列芯片上的通光孔(8)与盖板(1)上的通光孔(4)相对应；光栅芯片(3)上的闪耀光栅(9)是采用特定晶向腐蚀出来的，将特定波长的红外光的最大功率正好反射在热堆(5)的热端薄膜表面。
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