[发明专利]微型集成窄带滤光片阵列及其制备方法有效
| 申请号： | 200610027388.X | 申请日： | 2006-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN1862296A | 公开（公告）日： | 2006-11-15 |
| 发明（设计）人： | 周东平;沈家麟 | 申请（专利权）人： | 上海欧菲尔光电技术有限公司;中国科学院上海技术物理研究所;苏州市光电元件厂 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 田申荣 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型集成窄带滤光片阵列及其制备方法，该滤光片阵列包括：基片，在基片的一面置有与基片牢固结合的多个通道微型窄带滤光膜层，在基片的另一面镀制有公共截次峰膜层，其特征在于：各通道微型窄带滤光膜层之间有一间隔，间隔内置有防止光串扰的不透光的金属层，该金属层从间隔内延伸到滤光膜层的侧面，即各个通道滤光膜层侧面都有金属层包覆，彻底解决了各个通道之间的光串。该制备方法的特征是在滤光片的制备过程中，增设测量镀膜窗口，与对应的通道同时镀制，解决了制备过程中对单通道膜系进行测量的难度；采用金属掩模，有效地解决了光刻胶不能耐高温的问题，及其机械掩模所带来的变形和边缘效应，解决了通道图案精细化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 集成 窄带 滤光 阵列 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微型集成窄带滤光片阵列，包括基片(1)，在基片的一面镀制有与基片牢固结合的多个通道微型窄带滤光膜层(2)，在基片的另一面镀制有公共截次峰膜层(3)，其特征在于：各通道微型窄带滤光膜层之间有一间隔，间隔内置有防止光串扰的不透光的金属层(4)，该金属层从间隔内延伸到滤光膜层的侧面，即各个通道滤光膜层侧面都有金属层包覆。
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