[发明专利]光学滤光片薄膜厚度的监控方法

摘要

本发明公开了一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法，该方法是首先计算出每块监控片都以中心波长λ0为监控波长的光谱曲线；再计算出偏离中心波长为监控波长的系列光谱曲线；然后用常规的极值间接监控方法在基片上镀光学薄膜；对镀制好的滤光片进行光谱曲线测试；将测试的光谱曲线与模拟计算的光谱曲线进行对比，找出与计算光谱曲线中最相近的光谱曲线，调整监控波长重新制备新的滤光片，如此重复，直到滤光片的测试光谱曲线的波形和透过率或反射率指标达到设计要求的指标。本发明方法的最大优点是：提高了薄膜厚度控制精度。对窄带滤光片的制备特别有利。

主权项

1.一种光学滤光片薄膜厚度的监控方法，其特征在于具体步骤如下：A.首先按所需滤光片的设计要求，设计滤光片膜系；根据膜系确定监控片的块数，利用光学薄膜设计软件，如Filmward，Filmstar，Tfcal软件，计算出每块监控片都以中心波长λ0为监控波长的光谱曲线；再计算出偏离中心波长为监控波长的系列光谱曲线，监控波长的偏离可以是递增，递减，或相等，例如根据膜系确定监控片为3块，递增：第一块监控片的监控波长为λ0，第二块监控片的监控波长为λ0+X nm，第三块监控片的监控波长为λ0+2X nm，X＝1、2、3、----，偏离量的递减或相等可依此类推；也可以是部分监控片的监控波长偏离中心波长，具体可根据不同滤光片的设计要求确定；B.用常规的极值间接监控方法在基片上镀光学薄膜；C.对镀制好的滤光片进行光谱曲线测试；D.将测试的光谱曲线与模拟计算的光谱曲线进行对比，找出与计算光谱曲线中最相近的光谱曲线，根据此光谱曲线的监控波长偏离规律，作相反方向偏离为监控波长，在上述B步骤的同一设备、同一工艺参数条件下，用B步骤方法重新制备新的滤光片，重复C、D步骤，直到滤光片的测试光谱曲线的波形和透过率或反射率指标达到设计要求的指标。