[发明专利]光发射显微镜背面样品固定器有效
| 申请号： | 200610027448.8 | 申请日： | 2006-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101086553A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;秦天;颜金国;简维廷 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/26 | 分类号： | G02B21/26;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 李勇 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光发射显微镜背面样品固定器，主要包括样品承载基板，样品固定杆以及至少三个可动螺纹垫片，样品承载基板的中部镶嵌透光的玻璃片，作为承载样品的位置。此种样品固定器在固定样品时不需要使用热溶胶，不会对样品造成污染，另一方面也可以达到节省材料以及使用简便的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 显微镜 背面 样品 固定器 | ||
【主权项】：
1、一种光发射显微镜背面样品固定器，其特征在于具有如下结构：样品承载基板，样品固定杆以及至少三个可动螺纹垫片；样品承载基板的中部镶嵌透光的玻璃片，作为承载样品的位置；样品固定杆的两端分别以可动螺纹垫片连接于样品承载基板的两侧；所述至少三个可动螺纹垫片中，至少两个可动螺纹垫片穿设于样品承载基板的两侧，并分别固定于所述样品固定杆的两端，至少一个可动螺纹垫片穿设于样品固定杆正中。
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