[发明专利]干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置

摘要

一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法和装置，适用于对有限焦距的光学系统装调和检测。本发明的工作原理是将激光干涉仪发射的标准光通过被测光学系统后，使光反射回干涉仪。而且利用干涉仪易于在其“猫眼”位置得到干涉条纹的道理，确定光学系统的聚焦面。由于本发明利用了激光干涉仪的检测光，显著提高了光学系统聚焦面的定位精度。本发明可以实现照相物镜、显微镜、投影仪物镜、幻灯机物镜、电影放映物镜等光学系统的精密装调和检测，精确确定其聚焦面。可以显著提高装调和检测的精度，而且易于实施，易于调整，有效地解决了确定光学系统聚焦面的盲目性。

主权项

1.一种采用干涉仪精确确定光学系统聚焦面的方法，其特征在于该方法包括下列步骤：(1)选用Fizeau激光干涉仪(1)做为确定光学系统(2)聚焦面的检测仪器，该干涉仪的标准面与被测光学系统(2)相匹配；(2)将所述的激光干涉仪(1)发射的检测光束入射到被测光学系统(2)，调整所述的激光干涉仪(1)的出射光中心与被测光学系统(2)的中心重合；继续调整待测光学系统(2)，使光束会聚光斑为最小；(3)在所述的待测光学系统(2)后加入一个标准反射镜(3)，使光束沿原光路返回光学系统(2)，再返回所述的激光干涉仪(1)；(4)调整所述的标准反射镜(3)，并微调被测光学系统(2)，使激光干涉仪(1)上产生干涉条纹，并使所述的激光干涉仪(1)测得的被测光学系统(2)的离焦量为最小；(5)在所述的激光干涉仪(1)出射光后任意一个光束聚焦点位置插入一平面反射镜(4)，该平面反射镜(4)的反射面与一调整架(5)的基准面(6)重合，调整所述的调整架(5)的位置，使该平面反射镜(4)的反射光返回所述的激光干涉仪(1)内，产生干涉条纹，并使离焦量最小，此处即为“猫眼”位置，取走所述的平面反射镜(4)，则所述的调整架(5)的基准面(6)就是所述的待测光学系统(2)的聚焦面。