[发明专利]模块化扫描探针显微镜

摘要

一种与倒置荧光显微镜结合的模块化扫描探针显微镜，它由五个模块组成：第一模块为倒置荧光显微镜；第二模块是三爪逼近装置；第三模块是扫描头；第四模块包括透明样品台和X、Y、Z三维扫描器；第五模块是激光显微扩展模块。本发明模块化结构，利用各部分模块又很容易搭建不同结构的扫描探针显微镜，大大降低了购买各项仪器的成本；三维扫描器的共用除了实现荧光倒置显微镜的原有功能外，结合所有模块还可实现显微镜物镜照射和收集的特殊扫描近场光学显微镜功能、确定区域和确定目标的观察、激光共焦显微镜检测以及其他一些以探针为主或以显微镜为主的操作和加工工作。

主权项

1、一种模块化扫描探针显微镜，其特征在于它由五个模块组成：第一模块(1)为倒置荧光显微镜；第二模块(2)是三爪逼近装置，包括步进电机(201)、2个手动粗调结构(202)、照明发光二极管(203)和CCD(204)；第三模块(3)是扫描头部，第四模块(4)包括透明样品台(401)和X、Y、Z三维扫描器(402)；第五模块(5)是激光显微扩展模块，包括第三反射镜(501)、分束镜(502)、第三透镜(503)、第一针孔(504)、第四透镜(505)、激光器(506)、第五透镜(507)、第二针孔(508)和PMT探测器(509)；所述的第一模块(1)的CCD摄像头(105)和物镜系统(103)组合在一起，CCD摄像头(105)的输出信号供给监视器；第二模块(2)通过步进电机(201)及两个手动粗调结构(202)的轴端与第四模块(4)接触联结；第三模块(3)根据采用的扫描头部的不同而有所差别；第四模块(4)的X、Y、Z向三维平板扫描器(402)中间有方形通孔；透明样品台(401)通过粘接固定在X、Y、Z向三维平板扫描器(402)的方形通孔上方，再一起通过螺钉固定在第一模块(1)上；第一模块(1)的物镜系统(103)到探针针尖的距离等于第一模块(1)的工作距离，第一模块(1)的照明装置(101)、物镜系统(103)、样品和探针针尖同轴，第五模块(5)通过螺钉固定在第一模块(1)物镜系统(103)下方，由激光器(506)输出的激光束经第四透镜(505)、第一针孔(504)及第三透镜(503)后，成为较均匀的准直光束，经分束镜(502)、第三反射镜(501)和物镜系统(103)后会聚于透明样品台(401)上的样品某一点，该点反射光(或透射光、或受激辐射的荧光)又经物镜系统(103)后被反射镜(501)和分束镜(502)反射到探测光路，由第五透镜(507)将其聚焦于第二针孔(508)，被PMT探测器(509)接收，并将其输入计算机进行存储。