[发明专利]钽喷丝头表面化学气相沉积金刚石薄膜强化方法

摘要

一种钽喷丝头表面化学气相沉积金刚石薄膜强化方法，步骤如下：a.将钽喷丝头置于含金刚石微粉的酒精悬浮液中，采用超声打磨，再用丙酮与酒精分别超声清洗钽喷丝头表面，以此作为钽喷丝头CVD法沉积金刚石薄膜前的表面预处理；b.CVD法沉积金刚石薄膜，沉积过程中，碳源浓度1－4％，气压0.5－5kpa，衬底温度600－900℃，沉积时间控制在0.5－2h。本发明方法工艺较简单，可控性强，可用于各种形状的喷丝头表面，且极大提高了钽喷丝头表面的硬度及耐碱腐蚀能力，并能有效控制由于温度差而产生的局部热应力，沉积金刚石薄膜后的喷丝头纺丝质量和使用寿命都得到了提高。

主权项

1、一种钽喷丝头表面化学气相沉积金刚石薄膜强化方法，其特征在于，步骤如下：a、将钽喷丝头置于含金刚石微粉的酒精悬浮液中，采用超声打磨，再用丙酮与酒精分别超声清洗钽喷丝头表面，以此作为钽喷丝头CVD法沉积金刚石薄膜前的表面预处理；b、CVD法沉积金刚石薄膜，沉积过程中，碳源浓度1-4％，气压0.5-5kpa，衬底温度600-900℃，沉积时间控制在0.5-2h。