[发明专利]计算机控制的电子束偏转设备无效
| 申请号： | 200610028628.8 | 申请日： | 2006-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN1876889A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | 周婧;郭世海;易葵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/54;G05B15/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于光学镀膜的电子束蒸发系统的计算机控制的电子束偏转设备，包括一具有X方向偏转线圈和Y方向偏转线圈组成的偏转线圈组，其特点是还有一台程序控制计算机和一台由数字电位器构成的偏转调节装置，所述的数字电位器接受所述的程序控制计算机的数字信号，调节自身阻抗，调节的电压加载到偏转线圈组上，对电子束产生偏转作用。本发明能对电子束偏转移动进行全数字化的精准调节并精确控制蒸发时间，整个设备在速度、精度和可靠性上大大提高，也大大提高了智能化程度。 | ||
| 搜索关键词： | 计算机控制 电子束 偏转 设备 | ||
【主权项】：
1、一种计算机控制的电子束偏转设备，包括一具有X方向偏转线圈和Y方向偏转线圈组成的偏转线圈组(3)，其特征在于还有一台程序控制计算机(1)和一台由数字电位器构成的偏转调节装置(2)，所述的数字电位器接受所述的程序控制计算机(1)的数字信号，调节自身阻抗，调节的电压加载到所述的偏转线圈组(3)上，对电子束产生偏转作用。
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