[发明专利]硅基多层螺旋差分电感

摘要

一种微电子技术领域的硅基多层螺旋差分电感。本发明包括：衬底、六层二氧化硅层、六层金属螺旋线圈、连接通孔、金属导体和端口，第一层二氧化硅层设置在硅衬底上，六层金属螺旋线圈分别对应设置在六层二氧化硅层上，端口与第六层金属螺旋圈处在一个平面上，它与第一层金属螺旋线圈的导体两侧分别相连，不同层的金属螺旋线圈通过连接通孔连接后再与金属导体相连。本发明结构简单，易于实现，能够使寄生电容降到最低，从而获得较高的自谐振频率和较高的品质因数。本发明的最佳连接方式极大地减小了电场储能引起的寄生电容，从而可以很大程度上提高微电感的高频性能，具有广泛的用途。

主权项

1、一种硅基多层螺旋差分电感，包括：衬底(1)，六层二氧化硅层(2、13、14、15、16、17)，六层金属螺旋线圈(3、4、5、6、7、8)，连接通孔(9)，金属导体(12)和端口(10)，其特征在于：第一层二氧化硅层(2)设置在硅衬底(1)上，第一层金属螺旋线圈(3)位于第一层二氧化硅层(2)平面上，第二层金属螺旋线圈(4)位于第二层二氧化硅层(13)平面上，第三层金属螺旋线圈(5)位于第三层二氧化硅层(14)平面上，第四层金属螺旋线圈(6)位于第四层二氧化硅层(15)平面上，第五层金属螺旋线圈(7)位于第五层二氧化硅层(16)平面上，顶层第六层金属螺旋线圈(8)位于第六层二氧化硅层(17)平面上，端口(10)与第六层金属螺旋圈(8)处在一个平面上，它与第一层金属螺旋线圈(3)的导体两侧分别相连，六层金属螺旋线圈(3、4、5、6、7、8)通过连接通孔(9)连接后再与金属导体(12)相连。