[发明专利]涂胶机的排气控制装置有效
| 申请号： | 200610029923.5 | 申请日： | 2006-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN101122801A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 黄良志 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种涂胶机的排气控制装置，该装置包括涂胶机排气管、总排气管、感应器、控制器和调节阀；所述感应器位于所述涂胶机排气管内，用于感应所述涂胶机的排气量；所述调节阀位于所述涂胶机排气管与所述总排气管之间，用于控制所述涂胶机的排气量；所述控制器与所述感应器和所述调节阀相连，用于接收所述感应器的感应信号，并向调节阀发出控制信号。本发明的涂胶机排气控制装置，可实现对涂胶机排气量的准确的自动控制，改善了光刻胶旋涂工艺的质量及重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 排气 控制 装置 | ||
【主权项】：
1.一种涂胶机的排气控制装置，包括涂胶机排气管和总排气管；其特征在于：所述装置还包括感应器、控制器和调节阀；所述感应器位于所述涂胶机排气管内，用于感应所述涂胶机的排气量；所述控制器与所述感应器和所述调节阀相连，用于设置目标排气量值和接收所述感应器的感应信号，并向所述调节阀发出调节控制信号；所述调节阀位于所述涂胶机排气管与所述总排气管之间，用于根据接收到的所述调节控制信号，调节所述涂胶机的排气量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610029923.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
