[发明专利]具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管及反应系统

摘要

一种具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管及反应系统。现有的气体反应系统存在石英喷嘴容易被凸出的晶片割破，导致气体反应管中的晶片全部报废的问题。本发明的具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管，包括一环形侧壁，其中，所述气体反应内管的内侧壁上设有数个石英喷嘴防护部件，所述防护部件用于容设一石英喷嘴，该防护部件的一侧固定于气体反应内管的内侧壁上，另一侧形成一阻挡部以防止硬物接触到石英喷嘴。于本发明一实施例中，所述气体反应内管的外侧壁上还设有一对准标记。本发明的具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管及反应系统，具有结构简单、安装方便等优点，既能有效保护石英喷嘴不被晶片刮破，又能兼容于不同型号的气体反应系统。

主权项

1.一种具有石英喷嘴防护部件的气体反应内管，包括一环形侧壁，其特征在于：所述气体反应内管的内侧壁上设有数个石英喷嘴防护部件，所述防护部件用于容设一石英喷嘴，该防护部件的一侧固定于气体反应内管的内侧壁上，另一侧形成一阻挡部以防止硬物接触到石英喷嘴。