[发明专利]锰钴镍薄膜热敏材料的制备方法

摘要

本发明书提供了一种湿化学法制备锰钴镍(MnCoNi)薄膜材料的新型方法，完全改变了传统的制备工艺。此方法可以在较低温度下制备出大面积均匀、稳定的MnCoNi薄膜热敏材料，并可以与硅工艺兼容，突破传统陶瓷器件的局限性，以满足当代航空航天技术对该类器件的要求。

主权项

1.一种锰钴镍薄膜热敏材料的制备方法，其特征在于具体步骤如下：A.前驱体溶液的配制：溶质采用醋酸锰、醋酸钴、醋酸镍，其配比为Mn∶Co∶Ni＝47-57∶29-35∶14-18(原子比)，溶剂使用冰醋酸；将醋酸盐按上述比例称好溶于冰醋酸中，加热此溶液至30～60℃，并不断搅拌直至醋酸盐完全溶解，最后冷却至室温；前驱体溶液的浓度可以根据薄膜单层厚度的需要来调节；B.薄膜的制备：将上述配制好的前驱体溶液滴到衬底上，用匀胶机将溶液均匀甩开，匀胶速度为2000～4000转/分，时间为15-30秒，匀胶得到湿膜；然后将湿膜与衬底一起置于快速退火炉中进行热处理，条件为：升温至150～250℃保持5-10分钟；再从150～250℃升温至400～700℃保持6-10分钟；重复上述的旋涂匀胶和热处理过程，直至得到所需厚度的薄膜。