[发明专利]超纯过氧化氢的制备方法有效
| 申请号： | 200610030212.X | 申请日： | 2006-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN1919724A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 沈丽萍;汤慧;吴家白;惠绍樑;顾松美 | 申请（专利权）人： | 上海华谊微电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | C01B15/013 | 分类号： | C01B15/013 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汪克臻 |
| 地址： | 200122上海市浦东新区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超纯过氧化氢的制备方法。本发明以工业过氧化氢为原料，先经过离子交换法或蒸馏法预处理，达到试剂级标准，再采用大孔吸附树脂吸附去除有机碳，经离子交换树脂柱两段离子交换去除杂质离子，膜过滤器过滤去除尘埃颗粒的集成方法，获得本发明的目标产物。用本发明制备方法得到的超纯过氧化氢主体含量大于30％，有机碳含量低于20ppm，单个阳离子含量低于0.1ppb，单个阴离子含量低于30ppb，大于0.5μm的尘埃颗粒低于25个/毫升，符合SEMIC12标准。 | ||
| 搜索关键词： | 过氧化氢 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种超纯过氧化氢的制备方法，其特征在于试剂级的过氧化氢料液经过离子交换树脂两段离子交换，得到本发明的超纯过氧化氢。
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