[发明专利]机械手监控和自动复位系统有效
| 申请号： | 200610030271.7 | 申请日： | 2006-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101131578A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 沈坚 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/048 | 分类号： | G05B19/048;B25J13/00 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁纪铁 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机械手监控和自动复位系统，其包括，设备主控制系统，发出搬送硅片的传动信号使机械手开始运作；机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号；数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统。本发明可自动有效控制机械手的微量偏差，同时对偏差量进行分析和判断并做出报警或对偏差进行自动调整。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 监控 自动 复位 系统 | ||
【主权项】：
1.一种机械手监控和自动复位系统，其特征在于，包括：设备主控制系统，发出搬送硅片的传动信号使机械手开始运作；机械手，把到位信号反馈给所述设备主控制系统；光信号发射器，接收设备主控制系统发出的机械手到位信号，发出一列光信号；光信号接收器，检测光信号发射器发出的光信号；数据分析判断模块，根据光接收信号器的数据进行处理和判断，并把判断信号反馈到所述设备主控制系统。
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