[发明专利]自动目检方法有效
| 申请号： | 200610030806.0 | 申请日： | 2006-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101140307A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 吴文彬 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/26;H01L21/66;G06F19/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种自动目检方法，包括：获得晶片良率测试图像；将晶片良率测试图像转化为自动目检工具可接受的文件格式；对已转换文件格式的晶片良率测试图像进行选择性自动目检；获得自动目检图像。采用本发明提供的自动目检方法，在晶片良率测试与自动目检及人工目检之间建立数据链接，提高了检测效率，增强了检测数据的可靠性；应用本发明提供的自动目检方法可根据实际要求对晶片内任意芯片进行自动目检，可避免无效检测，提高了检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 方法 | ||
【主权项】：
1.一种自动目检方法，包括：获得晶片良率测试图像；将晶片良率测试图像转化为自动目检工具可接受的文件格式；对已转换文件格式的晶片良率测试图像进行选择性自动目检；获得自动目检图像。
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