[发明专利]ITO纳米线及其气体传感器的制备方法

摘要

本发明公开了一种制备ITO纳米线及其气体传感器的方法。纳米线的制备方法是：在衬底上沉积一层金膜；将氧化铟、氧化亚锡和石墨的粉末按比例混合后放入舟中，衬底放在舟上并一同加热、保温；加热炉内石英管中的气压保持在约300帕，并通入含有少量氧气的混合气体；炉冷却到室温后，微黄色产物在衬底上生成。传感器制备方法是：将纳米线用超声波分散到溶液中约2小时，烘干，所成浆料涂覆在有两个电极的陶瓷管上，浆料需覆盖在电极上，烘干或烧结，连接引线。这种ITO纳米线制备方法的优点在于简单、可控，成本低，材料有很好的气敏特性；气体传感器的优点有响应时间快、恢复时间短，性能稳定，噪声低，灵敏度高，适合于规模化的工业生产。

主权项

1、一种ITO纳米线的制备方法，其特征是，该方法为：(1)将1纳米-1微米厚的金膜沉积在基片衬底上；(2)氧化铟、氧化亚锡和石墨的粉末以质量比为1∶3.8-4.2∶0.8-1.2充分混合后，将混合粉末放入一个矾土舟中，基片衬底放在矾土舟上；(3)将矾土舟放入石英管中，再将石英管放入管式炉中，然后将管式炉加热到600℃-1200℃，保持1分钟-10小时；(4)在管式炉冷却到室温后，微黄色产物-ITO纳米线在基片衬底上生成；在上述制备过程中，石英管中的气压为250-350帕，与其同时以10-30sccm的速度通入氩气和氧气，或氮气和氧气的混合气体，混合气体中氧气的体积比5％-20％。