[发明专利]热超声倒装键合机换能器监测和分析系统无效
| 申请号： | 200610031670.5 | 申请日： | 2006-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN101073851A | 公开（公告）日： | 2007-11-21 |
| 发明（设计）人： | 王福亮;韩雷;钟掘;广明安 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | B23K20/10 | 分类号： | B23K20/10;B29C65/08;H01L21/607 |
| 代理公司： | 中南大学专利中心 | 代理人： | 胡燕瑜 |
| 地址： | 410083*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 热超声倒装键合机换能器监测和分析系统，包括超声信号发出器，换能器系统，本发明在超声信号器和换能器之间接入电流传感器和电压传感器，将换能器系统的驱动电流和电压信号提取出来，再将电流、电压信号经数据采集系统进入计算机，计算输入功率和输出阻抗的有效值，再根据有效值曲线计算得到键合过程中换能器系统的平均输入功率，得到键合强度与输入功率之间的关系，实现热超声倒装键合强度的在线监测。换能器系统功率信号容易获得和实现，可定量反映键合强度，实现强度的在线监测，并不影响换能器系统的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 倒装 键合机换能器 监测 分析 系统 | ||
【主权项】：
1.热超声倒装键合机换能器监测和分析系统，包括超声信号发出器，换能器系统，其特征在于：在超声信号器和换能器之间接入电流传感器和电压传感器，将换能器系统的驱动电流和电压信号提取出来，再将电流、电压信号经数据采集系统进入计算机，经A/D转换后，得数字化电流、电压信号，计算得到输入功率和输出阻抗的有效值，再根据有效值曲线计算得到键合过程中换能器系统的平均输入功率，得到键合强度与输入功率之间的关系，实现监测和分析。
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