[发明专利]用宽束N离子对硬质合金刀具表面处理的方法及其装置无效
| 申请号： | 200610032564.9 | 申请日： | 2006-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN101177780A | 公开（公告）日： | 2008-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王新良;杨文彬;王友良 | 申请（专利权）人： | 长沙新光离子技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48;C23C14/54 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 何为 |
| 地址： | 410116湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用宽束N离子对硬质合金刀具表面处理的方法及其装置，该方法是采用离子注入机进行宽束N离子注入对硬质合金刀具表面进行处理，将前处理过的硬质合金刀具置于靶盘上，加工面朝上，注入宽束N离子，使该N离子与硬质合金刀具基体表面发生系列物理和化学变化，提高了材料表面的硬度、抗磨损特性等，可改善刀具的切割特性，从而提高硬质合金刀具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用宽束 离子对 硬质 合金刀具 表面 处理 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.用宽束氮离子对硬质合金刀具表面处理的方法，其特征在于：采用离子注入机进行宽束N离子注入对硬质合金刀具表面进行处理，将前处理过的硬质合金刀具置于靶盘上，加工面朝上，注入宽束N离子，工件靶台转速为5～20转/分钟，靶盘转速为5～20转/分钟；N离子能量为40～120KeV，束流为5～20mA，氮气质量流量3～6Sccm；注入时间为30-60分钟，注入剂量(1～4)×1017/cm2，其工艺参数：真空系统真空度为1.5×10-2pa～4×10-3pa；N离子源的阳极电压20∽200KV。
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