[发明专利]一种整体式柔顺板精密定位平台

摘要

本发明公开了一种整体式柔顺板精密定位平台，包括基座、输出平台、驱动器、驱动器紧固件，还包括柔顺平行四杆机构及平板弹簧；驱动器通过驱动器紧固件紧固在基座上，其输出端顶住平板弹簧的右端，平板弹簧的左端与输出平台相连；柔顺平行四杆机构与基座连成一体，还与输出平台的四个角相连；平板弹簧、基座沿输出平台的运动方向对称分布。本发明能在驱动器位移分辨率和定位精度较低时，通过平板弹簧将驱动器的输出位移大幅缩小并驱动输出平台实现高分辨率运动。本发明性价比高，定位精度达到纳米级，有很好的热稳定性，可应用于扫描隧道显微技术，磁头定位、医疗显微操作等需要精密定位的领域。

主权项

1.一种整体式柔顺板精密定位平台，包括基座(1)、输出平台(2)、驱动器(3)、驱动器紧固件(4)，其特征在于还包括柔顺平行四杆机构(6)及平板弹簧(5)；驱动器(3)通过驱动器紧固件(4)紧固在基座(1)上，其输出端顶住平板弹簧(5)的右端，平板弹簧(5)的左端与输出平台(2)相连；柔顺平行四杆机构(6)与基座(1)连成一体，还与输出平台(2)的四个角相连；平板弹簧(5)、基座(1)沿输出平台(2)的运动方向对称分布。