[发明专利]透明导电膜层抛光装置及其抛光方法有效
| 申请号： | 200610034900.3 | 申请日： | 2006-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN1830622A | 公开（公告）日： | 2006-09-13 |
| 发明（设计）人： | 金弼 | 申请（专利权）人： | 深圳南玻显示器件科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B7/24;B24B9/14;B24B13/015 |
| 代理公司： | 深圳创友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郭燕 |
| 地址： | 518067广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明导电膜层抛光装置，包括基板固定盘、与基板固定盘相对应的抛光布固定件、抛光布和驱动机构，抛光布固定在抛光布固定件上，驱动机构用于使抛光布摩擦基板上的透明导电膜层，所采用的抛光布材质足够柔软，以使在工作压力下抛光布的和基板接触部分的弹性形变量大于0.1毫米，远远大于基板表面凹凸高度的差值。利用本发明对ITO膜层进行软抛光，不仅保证了ITO膜层在10微米*10微米范围内原子力显微镜AFM测得的粗糙度Ra、Rp－v有显著降低，而且保证ITO膜层的电阻均匀性在抛光前后差异很小，保证量产的均匀性和重复性，且简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 导电 抛光 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种透明导电膜层抛光装置，用于对附着在基板上的透明导电膜进行抛光，包括用于固定基板的基板固定盘、与基板固定盘相对应的抛光布固定件、抛光布和驱动机构，所述抛光布固定在抛光布固定件上，所述驱动机构用于使抛光布摩擦基板上的透明导电膜层，其特征在于：所述抛光布材质足够柔软，以使在工作压力下所述抛光布和基板接触部分的弹性形变量大于0.1毫米。
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