[发明专利]一种用于纳米粒子束流源的复合型分离器无效
| 申请号： | 200610037969.1 | 申请日： | 2006-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1804107A | 公开（公告）日： | 2006-07-19 |
| 发明（设计）人： | 韩民;许长辉;贺龙兵;杨玲;周剑峰;万建国;王广厚 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京苏高专利事务所 | 代理人： | 阙如生 |
| 地址： | 210093*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于纳米粒子束流源的复合型分离器，它是采用光汇集再发散的气流通道结构，该气流通道由圆锥形的入口侧(12)，圆锥形的出口侧(13)和连接入口侧(12)的喉部(14)所构成。本发明的分离器采用先汇集再发散的气流通道结构取代了原来的分离器中尖锥形的单发散气流通道，使纳米粒子束流源强度获得大幅度提高，用旧的分离得到的束流等效沉积率小于0.2nm/s，而新结构的分离器得到高于5nm/s的等效沉积率的高强度束流，足以满足纳米结构薄膜沉积工艺的需要，新结构气流通道的分离器工作时间由原来数小时增加到理论上的无限长时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 纳米 粒子束 复合型 分离器 | ||
【主权项】：
1、一种用于纳米粒子束流源的复合型分离器，其特征在于它采用先汇集再发散的气流通道结构，该气流通道由圆锥形的入口侧(12)、圆锥形的出口侧(13)和连接入口侧(12)和出口侧(13)的喉部(14)所构成。
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